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| 測(cè)漏儀原理和應(yīng)用 |
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測(cè)漏儀的原理及其應(yīng)用：主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計(jì)組成。離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子.分析器是一個(gè)均勻的磁場(chǎng)空間，不同離子的質(zhì)荷比不同；在磁場(chǎng)中便會(huì)按照不同軌道半徑運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行分離，設(shè)計(jì)時(shí)只讓氦離子飛出分析器的縫隙；打在收集器上.收集放大器收集氦離子流并出入到電流放大器.通過測(cè)量離子流便可知漏率.冷陰極電離真空計(jì)指示質(zhì)譜室的壓力保護(hù)裝置。 |
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